真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，按结构分类，可分为机械式真空泵，喷射式真空泵，吸着式真空泵。

机械式真空泵的种类很多,且属于输送气的机械,其动力性能、结构强度等均与压缩机有许多类似之处。

(一)往复式真空泵

往复真空泵是最古老的结构形式,其结构坚固、运行可靠、对水分不敏感,极限压力为(1~2.6)kPa,抽速范围为(50-600)L/S,主要用于大型粗真空系统,如真空干燥、真空过滤、真空浓缩、真空蒸馏、真空结晶以及其他气体抽除等。往复真空泵不适于抽除含尘或腐蚀性气体,除非经过特殊处理。

往复真空泵由气缸、活塞组成的工作腔部分与由曲轴、连杆、十字头、活塞杆等传动部分构成。控制气体吸进与排出气缸的阀门有自动阀与强制阀两种。

(二)油封回转式真空泵

油封回转式真空泵可直接用作抽气也可作为其他主泵的前级泵,极限压力为6×10-4Pa,抽速0.5-150L/S。

油封回转式真空泵主要有旋片式、定片式、滑阀式等三种结构型式，其特点是:用油使泵体与排气系统隔开,可防止排出气体向泵内回(故称为油封式)，泵内必须设置油分离装置,以分离排气时带走的润滑油;一般情况下仍难以将油蒸汽彻底清除所以对真空系统和周围环境会造成油污染。

(三)液环式真空泵

液环式真空泵在炼油化工生产中经常使用,是利用叶轮旋转时形成液环与叶片间容积周期性变化而抽吸气体。液环式真空泵也称纳氏泵,因为大多数场合用水作为工作液体故常称为水环式真空泵。其结构简单，工作可靠，可抽吸含固体微粒、水或易燃、易爆的气体根据气体性质采用合适的工作液体也可用抽吸腐蚀性气体。当用水为工作液体时,不会污染环境与真空系统，单级极限压力为104pa,双级可达103pa,最大抽速达500L/S。其缺点是液力损失大、效率低,水力效率约为50%~70%。

（四)罗茨真空泵

罗茨真空泵,两个8字形的转子以相同反方向旋转,气体自入口被带至出口。罗茨真空泵的抽速范围为(30~3)×104/s，一级极限压力约为1~10Pa，且在1~102pa压力范围内具有较大的稳定抽速，故又称为快速真空泵;罗茨真空泵常作为喷射泵与油扩散泵的前级泵起增压作用,故又称为机械增压泵。

罗茨真空泵转子叶型间隙：小型为0.1~0.2mm,大型为0.2~0.4mm，因此对气体中含有尘埃、纤维，水分等不敏感，但不适宜抽吸有腐蚀性或易燃、易爆气体。罗茨泵工作腔内无摩擦零件，无需油进行润滑，不会出现油污染。

当压力比高时，其排气温度可能很高，因此需用水进行冷却，冷却水管设在泵的排气口。